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全自動(dòng)臺(tái)階儀

【產(chǎn)品概述】澤攸科技JS系列臺(tái)階儀作為國(guó)產(chǎn)高精度表面測(cè)量設(shè)備的代表,憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場(chǎng)景及可靠的測(cè)量性能,在半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、微納技術(shù)等領(lǐng)域展現(xiàn)了顯著優(yōu)勢(shì)。JS系列臺(tái)階儀通過(guò)金剛石探針與樣品表面的接觸掃描,將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào),結(jié)合高靈敏度傳感器與信號(hào)處理算法,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng),通過(guò)精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力,既避免了對(duì)軟

  • 產(chǎn)品型號(hào):JS2000B
  • 更新時(shí)間:2025-05-08
  • 訪  問(wèn)  量:2832
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

產(chǎn)品詳情

澤攸科技臺(tái)階儀JS2000B

產(chǎn)品介紹


全自動(dòng)臺(tái)階儀

澤攸科技全自動(dòng)臺(tái)階儀JS2000B是一款高精度、高分辨率的測(cè)量設(shè)備,采用一體花崗巖結(jié)構(gòu),確保測(cè)量的穩(wěn)定性與可靠性。配備雙彩色攝像頭,可清晰無(wú)畸變地觀察樣品和針尖,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位與實(shí)時(shí)監(jiān)控。適用于薄膜厚度、多晶硅粗糙度、翹曲度、應(yīng)力及3D掃描成像等測(cè)量任務(wù),并支持計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描批量測(cè)試,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)等領(lǐng)域。其核心技術(shù)包括精密成像、自動(dòng)控制和數(shù)據(jù)分析處理。


  • 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測(cè)量

  • 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測(cè)量

  • 各式薄膜等應(yīng)力測(cè)量

  • 3D掃描成像

  • 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

  • 批量測(cè)試晶圓,批量處理數(shù)據(jù)等




應(yīng)用領(lǐng)域

全自動(dòng)臺(tái)階儀

產(chǎn)品組成

全自動(dòng)臺(tái)階儀


突破三大核心技術(shù)

全自動(dòng)臺(tái)階儀


產(chǎn)品特色

全自動(dòng)臺(tái)階儀


技術(shù)指標(biāo)

臺(tái)階高度最大范圍:≤80um

臺(tái)階高度重復(fù)性:≤0.5nm

垂直分辨率:0.05nm

探針加力范圍:0.5mg~50mg

單次掃描長(zhǎng)度:≤55mm

晶圓尺寸:可兼容6寸、8寸Wafer

晶圓厚度:≤10mm

圖像識(shí)別系統(tǒng)精度:定位精度優(yōu)于±10um

機(jī)械動(dòng)作穩(wěn)定性:馬拉松傳送測(cè)試>500片

生產(chǎn)效率:WPH≥10片(單面量測(cè)≥5個(gè)位置)



案例應(yīng)用

18nm樣品

68um樣品



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